ماسک های نانویی برای لیتوگرافی در صنعت نیمه هادی تولید می شود

به گزارش سایت قطره و به نقل ازگروه دانشگاه خبرگزاری دانشجو، شرکت میتسوی کمیکالز (Mitsui Chemicals) ژاپن با همکاری مرکز نوآوری نانوالکترونیک IMEC بلژیک در حال کار روی ارائه نسل بعدی ادوات لیتوگرافی است.

- شرکت میتسوی کمیکالز (Mitsui Chemicals) ژاپن با همکاری مرکز نوآوری نانوالکترونیک IMEC بلژیک در حال کار روی ارائه نسل بعدی ادوات لیتوگرافی است.

به گزارش سایت قطره و به نقل ازگروه دانشگاه خبرگزاری دانشجو، شرکت میتسوی کمیکالز (Mitsui Chemicals) ژاپن با همکاری مرکز نوآوری نانوالکترونیک IMEC بلژیک در حال کار روی ارائه نسل بعدی ادوات لیتوگرافی است.

این همکاری راهبردی در مسیر تجاری سازی یکی از مولفه های اصلی سامانه های لیتوگرافی نیمه هادی با پرتو های فرابنفش شدید (EUV) است.

در این پروژه مشترک قرار است روی غشاء های شفاف و نازک EUV تمرکز شود که نوعی ماسک EUV در برابر آلودگی است.

مشارکت شرکت میتسوی کمیکالز و IMEC به گونه ای برنامه ریزی شده است که ماسک های مبتنی بر نانولوله های کربنی در بازه زمانی سال های 2025 تا 2026 به مرحله تجاری سازی برسد.

با افزایش نیاز به ایجاد محصولاتی با ابعاد کوچکتر و متراکم تر در مدار های الکترونیکی، لیتوگرافی EUV به شدت مورد توجه شرکت ها قرار گرفته است.

بازار تجهیزات لیتوگرافی EUV تا حد زیادی در اختیار شرکت هلندی ASML است که ماشین آلات پیشرفته و پیچیده ای را تولید و به فروش می رساند.